凈化工程:控制產(chǎn)品 (如硅芯片等) 所接觸大氣的潔凈度及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。此環(huán)境空間的設(shè)計施工過程即可稱為凈化工程。
潔凈空間的減少,意味著風量比、換氣次數(shù)、送風動力消耗都隨之降低。潔凈室每平方米耗能是普通空調(diào)辦公樓的10~30倍。若減少潔凈體積30%,可節(jié)能 25%。又由于1萬級潔凈區(qū)電耗是10萬級的2.5倍,因此,企業(yè)應(yīng)按不同的空氣潔凈度等級要求分別集中布置,盡減少潔凈室特別是高、級別潔凈室的 面積,同時,應(yīng)使?jié)崈舳纫蟾叩臐崈羰冶M量靠近空調(diào)機房,以減少管線長度,降低能量損耗?!?
減少潔凈空間體積的實用技術(shù)之一是建立潔凈隧道或隧道式潔凈室,其可以滿足生產(chǎn)對高潔凈度環(huán)境和節(jié)能的雙重要求,使?jié)崈艄に噮^(qū)空間縮小到較低限度,風量**減少。另外,還可采用潔凈隧道層流罩裝置,以抵抗?jié)崈舳鹊偷牟僮鲄^(qū)對潔凈度高的工藝區(qū)可能存在的干擾與污染。在同樣的總風量下,可以擴大罩前潔凈截面 積5~6倍。同時,還可通過潔凈小室、潔凈工作臺、自凈器、微環(huán)境等形式,如帶層流裝置的稱量工作臺以及帶層流裝置的灌封機等,實行局部氣流保護,以維持該區(qū)域的高潔凈級別要求,且減少潔凈空間體積。
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